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您当前的位置:首页 > 新闻 > 企业新闻 半导体“生命之水”揭秘
2025-08-07 08:54:09来源:陕工网—陕西工人报
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本报全媒体记者 郝佳伟

  你见过不导电的水吗?8月5日,记者走进陕西电子芯业时代科技有限公司,深入探访该公司8英寸半导体芯片生产线,见证自来水如何历经重重“淬炼”,实现“不导电”,最终成为半导体“生命之水”——超纯水。

  当自来水踏入厂房的那一刻,净化之旅便正式拉开帷幕,首站是预处理系统。

  在这里,通过物理过滤的方式,水中的泥沙、铁锈等大颗粒杂质被一一拦截。同时,该系统还能精准清除具有氧化性的物质,为后续的净化流程扫清障碍。此外,大分子有机物以及高价阴阳离子也在此阶段被大量清除。

  “预处理是整个水净化流程的根基。”该公司纯废水工程师魏斌形象地比喻道,只有基础扎实稳固,后续的净化处理才能稳步推进。

  经过预处理的水,紧接着进入制成系统,接受更深度的净化。

  这一阶段的净化目标十分明确,即去除水中的细菌、低价态阴阳离子、小分子有机物及气体成分。

  制成系统身怀两大“绝技”——膜分离和离子交换技术。膜分离技术如同一张精密的过滤网,能有效拦截细菌和小分子有机物;离子交换技术则借助特定树脂,去除水中的低价态阴阳离子,大幅降低水的电导率。同时,系统还能将水中的气体成分彻底清除,杜绝其对芯片制造产生干扰。

  “细菌和离子堪称半导体制造中的‘隐形杀手’,哪怕是微量存在,都可能导致芯片出现缺陷,严重影响产品质量。”该公司厂务部高红晓说,制成系统的深度净化,就是要将这些潜在风险彻底消除。

  从制成系统流出的水,最后进入精处理系统,这是净化流程的终极关卡。在这里,要对水中难以交换的硅、硼等离子,以及有机物和溶解氧进行彻底清除。

  精处理系统配备了高端抛光树脂和特殊处理工艺,抛光树脂能牢牢吸附水中残留的微量离子,特殊工艺则精准去除有机物和溶解氧。最终,水的电阻率达到18.2MΩ·cm(25℃),颗粒尺寸控制在纳米级,细菌含量低于1CFU/mL,杂质含量相当于大海里的一瓢水,完美满足半导体制造对超纯水的严苛要求。

  “精处理系统就像给水做了一次全面的高端美容,让它以最纯净无瑕的状态投身半导体制造。”高红晓满脸自豪地说,中水也不浪费,会循环到冷却塔继续使用。




责任编辑:白子璐

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